设备分类编码: 120302

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [能源科学技术, 电子与通信技术, C41]

仪器设备来源: 赠送

联系电话: 0431-86176345

电子邮箱: beichu@163.com

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 初蓓

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>半导体集成电路工艺实验设备

规格型号: Plus-200

所属科研设施:

主要功能: 真空镀膜,惰气下封装,镀膜封装一体化

主要技术指标: 真空度高于5×10－7Torr，对位精度高于3.5微米，膜厚误差低于5％，速率误差低于3％。

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: