设备分类编码: 120303

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [物理学, M00]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0431-86176890

电子邮箱: Jincs@sklao.ac.cn

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 金春水

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>电真空器件工艺实验设备

规格型号: OXFORD-600

所属科研设施:

主要功能: 1.离子束溅射镀膜 2.离子束刻蚀

主要技术指标: 由计算机控制，属全自动镀膜刻蚀系统。镀膜室为1立方米，有3个15cmRF圆形栅离子源，可镀直径为150mm的基底

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: