设备分类编码: 120302

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [物理学, M00]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0431-86176919

电子邮箱: Liuyongshun1981@163.com

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 于振雷

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>半导体集成电路工艺实验设备

规格型号: MA6/BA6

所属科研设施:

主要功能: 单、双面对准，紫外曝光，键合预对准

主要技术指标: 分辨率0.6μm，双面对准精度：1μm，样品尺寸为3寸和4寸

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: