设备分类编码: 120302
仪器设备分类: 通用
主要学科领域: [物理学, 材料科学, M00]
仪器设备来源: 购置
联系电话: 0431-86176915
电子邮箱: yihuiwu@ciomp.ac.cn
通讯地址:
邮政编码:
联系人: 张平
仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>半导体集成电路工艺实验设备
规格型号: A601E
所属科研设施:
主要功能: 硅深刻蚀
主要技术指标: 刻蚀速率:2-10微米/分钟,陡直度90度±1度;选择比Si:SiO2 250:1,Si:PR 150:1,测蚀量≥0.5μm.侧表面粗糙度≥40nm
安放地址:
服务内容:
服务的典型成果:
对外开放共享规定:
参考收费标准: