设备分类编码: 120302
仪器设备分类: 通用
主要学科领域: [物理学, M00]
仪器设备来源: 购置
联系电话: 0431-86176919
电子邮箱: Liuyongshun1981@163.com
通讯地址:
邮政编码:
联系人: 刘永顺
仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>半导体集成电路工艺实验设备
规格型号: SB6E
所属科研设施:
主要功能: Au-Si键合,Si-Si键合,Si-Glass阳极键合
主要技术指标: 键合室压强5E-5~3000mbar,键合宽度25-100mm,直径10-40mm,厚度0.4~6mm,压力100~5500N,温度500℃
安放地址:
服务内容:
服务的典型成果:
对外开放共享规定:
参考收费标准: