设备分类编码: 120303

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [化学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0431-85262686

电子邮箱:

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 周亮

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>电真空器件工艺实验设备

规格型号: OLED六室联用

所属科研设施:

主要功能: 衬底的表面等离子处理有机薄膜的生长无机和金属薄膜的蒸镀有机材料的微量掺杂有机材料的三元掺杂成膜大分子或聚合物材料的旋涂成膜有机薄膜器件的封装无机薄膜器件的制备及封装

主要技术指标: 型号：OLED六室联用。真空室个数：6个；极限真空：1.0×10-5 Pa；样品最大尺寸：100 mm x 100 x 12 mm；通用样品尺寸：30 mm x 30 x 12 mm；主体结构：等离子处理室、有机室、金属室、过渡室、封装室、旋涂室；主要配件：四台机械泵，两台分子泵，两组电控柜，水冷装置；等离子处理室可进行氧气、氩气、氮气、空气等多种气体的表面等离子处理；有机室八个束源炉，共计三组，可实现数字控温（600℃以内）；金属室六个蒸发源，共计两组，电流调控，可达800℃。

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: