设备分类编码: 120303
仪器设备分类: 专用
主要学科领域: [材料科学, 冶金工程技术, M00, M78]
仪器设备来源: 购置
联系电话: 0731-88830335
电子邮箱: zhiming@csu.edu.cn
通讯地址:
邮政编码:
联系人: 余志明
仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>电真空器件工艺实验设备
规格型号: CSU550-1
所属科研设施:
主要功能: PVD、CVD、化学气象沉积、物理气象沉及。
主要技术指标: Pmin≤10-3Pa
安放地址:
服务内容:
服务的典型成果:
对外开放共享规定:
参考收费标准: