设备分类编码: 011299

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0351-6010027

电子邮箱: mashufang@tyut.edu.cn

通讯地址: 太原理工大学

邮政编码: 030024

联系人: 马淑芳

仪器所属类别: 分析仪器>>样品前处理及制备仪器>>其他

规格型号: ICP-5100

所属科研设施:

主要功能: 等离子光刻机

主要技术指标: 5100

安放地址: 太原理工大学

服务内容: *

服务的典型成果: *

对外开放共享规定: 太原理工大学大型仪器共平台实施细则（试行）

参考收费标准: *