设备分类编码: 020199

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [材料科学]

仪器设备来源: 研制

联系电话: 0931-4968236

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联系人: 郝俊英

仪器所属类别: 物理性能测试仪器>>力学性能测试仪器>>其他

规格型号: 1000*800mm

所属科研设施:

主要功能: 此设备可用于各种特殊金属表面、合金表面、塑料以及陶瓷表面的镀膜（包括金属膜、氮化物膜、碳化物膜、氧化物膜、硫化物膜以及陶瓷膜）处理、类金刚石（DLC）薄膜的制备以及各种润滑薄膜、表面装饰膜、半导体薄膜以及介质膜的沉积等。

主要技术指标: 系统极限真空：经烘烤、连续抽气时间≤8小时，系统极限真空度应≤6.6×10-5Pa。 抽气速度：真空室短时间暴露大气并充干燥氮气，连续抽气≤20分钟，真空度应≤5×10-3Pa。 真空室的静态升压率：≤8×10-1Pa/H。 真空室的静态漏率:≤1.33×10-6Pa•M3/S

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: