设备分类编码: 011299

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0351-6010311

电子邮箱: wanghua@tyut.edu.cn

通讯地址: 太原理工大学

邮政编码: 030024

联系人: 王华

仪器所属类别: 分析仪器>>样品前处理及制备仪器>>其他

规格型号: 非标设备

所属科研设施:

主要功能: 真空热蒸发成膜、磁控溅射成膜、等离子体辉光清洗、用于OPV/OLED旗舰的制备及封装

主要技术指标: 一个小时抽真空可使各个腔体的真空度达到5 X 10-4 Pa以下; 热蒸发、磁控溅射成膜性好

安放地址: 太原理工大学

服务内容: *

服务的典型成果: *

对外开放共享规定: 太原理工大学大型仪器共平台实施细则（试行）

参考收费标准: *