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脉冲激光沉积系统  (收藏)

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设备分类编码: 011299

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [物理学, 材料科学, 化学工程]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 023-65678362

电子邮箱: xiaoyuan2013@cqu.edu.cn

通讯地址: 重庆市沙坪坝区沙正街174号

邮政编码: 400044

联系人: 周小元

仪器所属类别: 分析仪器>>样品前处理及制备仪器>>其他

规格型号: 三腔体/10E-8Pa/

所属科研设施:

主要功能: 利用激光对物体进行轰击,然后将轰击出来的物质沉淀在不同的衬底上,得到沉淀或者薄膜的一种手段

主要技术指标: 真空腔室:*极限真空优于10-8Pa;直径不小于300mm; 基片尺寸2英寸;加热温度800摄氏度以上; 激光能量大于700mJ; 成膜不均匀性≤±5%,重复性优于±3%

安放地址: 重庆大学虎溪校区D-LF115

服务内容: 利用激光对物体进行轰击,然后将轰击出来的物质沉淀在不同的衬底上,制备薄膜

服务的典型成果: 无(仪器在试运行阶段)

对外开放共享规定: 校内外共享

参考收费标准: 校内:200/样;校外:400/样



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