设备分类编码: 011299
仪器设备分类: 通用
主要学科领域: [物理学, 材料科学, 化学工程]
仪器设备来源: 购置
联系电话: 023-65678362
电子邮箱: xiaoyuan2013@cqu.edu.cn
通讯地址: 重庆市沙坪坝区沙正街174号
邮政编码: 400044
联系人: 周小元
仪器所属类别: 分析仪器>>样品前处理及制备仪器>>其他
规格型号: 三腔体/10E-8Pa/
所属科研设施:
主要功能: 利用激光对物体进行轰击,然后将轰击出来的物质沉淀在不同的衬底上,得到沉淀或者薄膜的一种手段
主要技术指标: 真空腔室:*极限真空优于10-8Pa;直径不小于300mm; 基片尺寸2英寸;加热温度800摄氏度以上; 激光能量大于700mJ; 成膜不均匀性≤±5%,重复性优于±3%
安放地址: 重庆大学虎溪校区D-LF115
服务内容: 利用激光对物体进行轰击,然后将轰击出来的物质沉淀在不同的衬底上,制备薄膜
服务的典型成果: 无(仪器在试运行阶段)
对外开放共享规定: 校内外共享
参考收费标准: 校内:200/样;校外:400/样