设备分类编码: 020306

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [材料科学, 环境科学技术及资源科学技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0931-4968250

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联系人: 高祥虎

仪器所属类别: 物理性能测试仪器>>光电测量仪器>>光偏振态分析仪

规格型号: UVISEL

所属科研设施:

主要功能: 主要用于应用于测量各类薄膜的膜厚及光学参数（n，k）； 可用于应用于测量各类薄膜的Psi和Delta； 薄膜和镀膜光学材料的光学性质（粗糙度，孔隙率等）。

主要技术指标: 测量光谱范围：短波≤245nm，长波≥2100nm。 椭偏类型：光弹晶体相位调制。 光源:氙灯，功率≥75W。 探测系统：PMT及InGaAs，探测器数目≥2，每个探测器针对不同波段优化，不得采用一个探测器覆盖整个光谱范围。 无色差设计，必须采用反射镜聚焦到样品表面。 在整个光谱范围内，光斑尺寸无变化。 光谱仪必须采用光栅分光。 入射角： 55°到90°。 样品台: 样品台水平放置，能够放置最大150mm直径、最大20mm厚度的样品，高度可调。 快速最短测量时间：≤10ms （单波长）。

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服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

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