设备分类编码: 120399

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [物理学, 材料科学, 电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0743-8564492

电子邮箱:

通讯地址: 吉首市人民南路120号

邮政编码: 416000

联系人: 叶伏秋

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>其他

规格型号: DH-DZ900

所属科研设施:

主要功能: 覆盖物理学、应用物理学、化学、应用化学、材料化学，高分子材料与工程、环境工程、食品工程、材料学等专业，同时为周边大学、工矿企业等服务。开设面向全校理工科本科生的开放性实验课，通过演示实验、设计实验、技能实践以及科学研究的开展，最大可能的提高设备的利用率；通过与化学、化工、资环、材料、医学等不同学科间的合作交流实现资源共享。

主要技术指标: 直径×高度＝ø900×950mm3；极限真空度：优于5×10-4 Pa真空室材料：SUS304不锈钢材料制造，内表面抛光，外表面喷丸处理；真空室结构：壳体壁厚：8mm水套壁厚：3mm镀膜室顶板及底板厚度：≥28mm镀膜室门框及法兰厚度：30mm前开门结构；观察窗材质：不锈钢空室顶部及底部均有水冷，镀膜室侧壁，水冷挡板，弧源、法兰等均有，4进4出管路备用；屏蔽板：不锈钢材料制造，公转速度：1-5转/min连续可调、交流变频调速器调速；挂具杆：8根公自转杆+4根公转杆、承重≥400kg；机械泵：2X-70旋片泵，泵抽速70升/秒；泵口径：500mm、扩散泵带观察油镜、水平调节支脚和快速急冷水水槽；电炉盘采用PID温控表控温，温控精度达±1.5度；维持泵：2X-15旋片泵一台，泵抽速15升/秒；管道、阀门：减震采用金属波纹管、全部气动控制阀门，阀门采用铝合金气缸和组合式换向阀组、真空室排气口带节流阀，双工位，角度可调；电弧镀膜系统：弧源直径：弧源法兰¢255mm，靶材尺寸¢100×40mm，弧源数量：8个，稳弧电流：38-40A（钛靶），引弧方式：电动，自动引弧，断弧自动恢复，粘弧保护；溅射靶尺寸：700×100mm矩形，非平衡磁控溅射靶，对靶结构，溅射靶数量：2个；电动挡板：电动屏蔽板；控制系统：真空显示：高真空规管和双热偶。真空系统及转架控制：控制真空系统的泵及各管路阀门；流量控制：四路控制及数字显示调节气体流量，质量流量计控制；温度控制：智能温控仪，PID控制调节镀膜室加热温度；偏压控制：单极脉冲轰击偏压电源，电压及占空比可调；溅射电源：中频脉冲恒流源，电压可调；弧源控制：八路弧源，电流调节显示；弧电源柜：控制系统规格参数：偏压电源：脉冲直流，频率20KHz，功率20KW，高压档500-1200V，低压档0-500V。溅射电源：中频脉冲，频率40KHz，功率30KW，镀膜时200-700V可调。偏压控制：电压可调，占空比5-95%连续可调。智能温控仪，加热功率20KW，PID功率智能输出。供气系统：四路数字调节控制，四台质量流量计，1000ml/台×3+500ml×1。

安放地址: 湖南省湘西土家族苗族自治州吉首市吉首市人民南路120号

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: 100元/小时