设备分类编码: 120303

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [冶金工程技术, 环境科学技术及资源科学技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0731-88876454

电子邮箱: Liufangyang1984@126.com

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 张治安

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>电真空器件工艺实验设备

规格型号: JGP450

所属科研设施:

主要功能: 溅射、蒸发镀膜

主要技术指标: 系统经烘烤，极限真空可达6.6×10-5Pa；停泵关机12小时后真空度≤10Pa；加热炉采用日本岛电公司的可控可调，最高温度上限600℃。

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: