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四腔室多功能磁控溅射设备  (收藏)

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设备分类编码: 120303

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [冶金工程技术, 环境科学技术及资源科学技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0731-88836329

电子邮箱: Liufangyang1984@126.com

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 刘芳洋

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>电真空器件工艺实验设备

规格型号: 非标订制

所属科研设施:

主要功能: 镀制各种单层膜、多层膜、掺杂膜系。可镀金属、合金、化合物、半导体、陶瓷膜、介质复合膜和其它化学反应膜

主要技术指标: 1# /2# 真空室: 极限真空度:≤6.67x10-5 Pa (经烘烤除气后);

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准:



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