设备分类编码: 120303
仪器设备分类: 专用
主要学科领域: [冶金工程技术, 环境科学技术及资源科学技术]
仪器设备来源: 购置
联系电话: 0731-88836329
电子邮箱: Liufangyang1984@126.com
通讯地址:
邮政编码:
联系人: 刘芳洋
仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>电真空器件工艺实验设备
规格型号: 非标订制
所属科研设施:
主要功能: 镀制各种单层膜、多层膜、掺杂膜系。可镀金属、合金、化合物、半导体、陶瓷膜、介质复合膜和其它化学反应膜
主要技术指标: 1# /2# 真空室: 极限真空度:≤6.67x10-5 Pa (经烘烤除气后);
安放地址:
服务内容:
服务的典型成果:
对外开放共享规定:
参考收费标准: