设备分类编码: 129900

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [物理学, 材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0731-88872520

电子邮箱:

通讯地址: 长沙市麓山南路

邮政编码: 410081

联系人: 曾志

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>其他>>其他

规格型号: ABM/6/500/DUV/DCCD/BSN/M

所属科研设施:

主要功能: 图形转移

主要技术指标: 1)曝光精度:NUV,0.6微米,DUV,0.25微米；2)对准精度:1微米。

安放地址: 湖南省长沙市岳麓区长沙市麓山南路

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: 800元/小时