设备分类编码: 120499

仪器设备分类:

主要学科领域: [力学, 材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0731-58292199

电子邮箱: jbwang@xtu.edu.cn

通讯地址: 湘潭市羊古塘

邮政编码: 411105

联系人: 王金斌

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>加工工艺实验设备>>其他

规格型号: PLD-5000

所属科研设施:

主要功能: 制备各种薄膜

主要技术指标: 真空度可达10-4Pa；基片加热温度可达800℃；基片和靶材可自转；四靶位；配备等离子枪

安放地址: 湖南省湘潭市雨湖区湘潭市羊古塘

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: