设备分类编码: 990000
仪器设备分类: 通用
主要学科领域: [材料科学]
仪器设备来源: 购置
联系电话: 0351-6018740
电子邮箱: liangjian@tyut.edu.cn
通讯地址: 太原理工大学
邮政编码: 030024
联系人: 梁建
仪器所属类别: 其他仪器>>其他>>其他
规格型号: RPM2000
所属科研设施:
主要功能: PL谱测试仪用于快速检测外延片的质量,包括光强、峰值波长、峰值半波宽等参数。本仪器为外延片生产工艺优化控制提供快速可靠的数据反馈,也为生产高质量的LED芯片提供基础数据。本设备也可测试其它发光薄膜的发光特性,用途较广。适合于直径为6"以下的外延片。具有白光反射谱可以做膜厚测试和BRAGG测试软件功能可以直接显示CIE相关参数,如主波长,CIE坐标等。
主要技术指标: 2.1、 功能:逐点扫描检测、自动分析计算外延片的积分光强、峰值波长、CIE相关参数、峰值半波宽等参数,以绘图形式显示分布和数据。 2.2、 配置266nm激光器以及配套的光光栅和探测器,光谱范围为UV-VIS-NIR。同时预留两个通道,方便日后升级。 2.3、采用R-THETA测试平台,在保证精度的前提下,速度提升3倍以上。 2.4、 低噪声阵列探测器:1024象素。 探测范围:200-1100nm(光栅调节 ) 2.5、波长测试重复性:±0.5nm。 2.6、光强测试重复性误差:<2%。
安放地址: 太原理工大学
服务内容: *
服务的典型成果: *
对外开放共享规定: 太原理工大学大型仪器共平台实施细则(试行)
参考收费标准: *