设备分类编码: 010802

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [机械工程]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0592-6162616

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通讯地址:

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联系人: 黄吉祥

仪器所属类别: 分析仪器>>显微镜及图象分析仪器>>激光共焦显微镜

规格型号: LSM700

所属科研设施:

主要功能: 三维形貌及表面质量分析

主要技术指标: 明场、高级暗场、偏光；Z方向高度测量：步进精度10nm；宽度测量可重复性（3δ）：0.01μm；高度测量可重复性（1δ）：0.02μm 砂轮尺寸：D≤500mm，B≤80mm

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: