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高真空磁控溅射镀膜机  (收藏)

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设备分类编码: 020101

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 023-65120780

电子邮箱: deen_sun@cqu.edu.cn

通讯地址: 重庆市沙坪坝区沙正街176号

邮政编码: 400044

联系人: 孙德恩

仪器所属类别: 物理性能测试仪器>>力学性能测试仪器>>材料试验机

规格型号: CDTC-MIP-490

所属科研设施:

主要功能: 任何需要大尺寸、精确计量手段的行业和研究课题组,如①机器人校准、大型工装夹具;②机床精度检测、零件检测以及逆向工程等。主要用于科研项目,也可根据需要服务教学。

主要技术指标: 1.真空系统: 抽到极限真空后,关机12小时,腔室真空度优于10Pa 2.阳极层离子源:放电电流0.2-5A,束斑有效区域大于400mm 3.磁控溅射靶: 400mm X 100 mm, 共计4套 4.工件转架:6工位设计,0-15转/分,直流叠加脉冲偏压电源,频率40kHz 5.加热系统:11根管式加热管,最大加热功率8kW,最高加热温度500度 6. 电源和控制系统采用控制柜集中控制方式,标准机柜,全手动控制

安放地址: 重庆大学A区综合实验大楼附楼

服务内容: 主要用于材料表面镀膜

服务的典型成果: 支持科研项目2项,本科生SRTP和国创项目4项;指导本科生毕业设计7项,发表论文3篇。

对外开放共享规定: 需要测试的用户在满足测试要求的都可在工作日内预约实验

参考收费标准: 校内:a、开机200元/次;b、样品尺寸<80mmx80mm,150元/样x小时;一次开机内每增加一个样加收50元/样x小时,不足一小时按一小时计算。C、多靶溅射:样品尺寸<80mm*80mm,200元/每样每小时,一次开机内每增加一个样加收100元/每个样每小时,不足一小时按一小时计。校外:院外加工样品按院内标准的1.5倍收费,校外单位按院内标准的2倍收费。



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