设备分类编码: 120499

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [动力与电气工程]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 023-65102519

电子邮箱: zhengry@cqu.edu.cn

通讯地址: 重庆市沙坪坝区沙正街174号

邮政编码: 400044

联系人: 尚正国

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>加工工艺实验设备>>其他

规格型号: Φ148.6*5mm4英寸

所属科研设施:

主要功能: 作为半导体加工的电极材料及压阻材料使用

主要技术指标: Pt-靶, 99.99%, 148.6 mm 直径 x 5 mm 厚度, 绑定在铜背板上，适用于SC153 DC/RF

安放地址: 微系统研究中心101室

服务内容: 提供4-6英寸圆片薄膜淀积：Pt

服务的典型成果: 中电集团24所电极制备等

对外开放共享规定: 4-6英寸基片，配合磁控溅射使用

参考收费标准: 1600元/片（<160nm）