设备分类编码: 120401

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [信息科学与系统科学, 工程与技术科学基础学科]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 023-65102519

电子邮箱: zhengry@cqu.edu.cn

通讯地址: 重庆市沙坪坝区沙正街174号

邮政编码: 400044

联系人: 王胜强

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>加工工艺实验设备>>机加工工艺实验设备

规格型号: L4110Ⅱ-3/ZM2～4英寸

所属科研设施:

主要功能: 淀积多晶硅、二氧化硅、氧化硅等薄膜材料

主要技术指标: 淀积薄膜厚度600A-20000A,极限真空优于1Pa,淀积薄膜片内均匀性：Si3N4±3%；多晶硅±4%，SiO2±3%

安放地址: 沙正街174号

服务内容: 淀积多晶硅、二氧化硅、氧化硅等薄膜材料

服务的典型成果: 服务于973.863等项目

对外开放共享规定: 1.校内外用户均可在工作日申请使用；2. 申请时需先讨论工艺方案，并填写加工申请单，双方无异议后根据实验室工作进度安排加工；3. 加工完成后，加工方结算产生的加工费

参考收费标准: 1500元/炉