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双束场发射扫描电子显微镜系统  (收藏)

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设备分类编码: 010102

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [生物学, 材料科学, 化学工程]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 023-65106001

电子邮箱: zhangyuxin@cqu.edu.cn

通讯地址: 重庆市沙坪坝区沙正街174号

邮政编码: 400044

联系人: 张育新

仪器所属类别: 分析仪器>>电子光学仪器>>扫描电镜

规格型号: Zeiss AURIGA

所属科研设施:

主要功能: FIB/SEM双束系统是样品成像、改性、加工和实效分析的有效工具,可提供三维高分辨率的电子束成像,还可利用离子束在电子束的协调下进行材料的衬度成像和二次离子质谱成像。可用于材料、化工、微电子等相关研究领域。

主要技术指标: 1、场发射枪 2、FIB最大束流20nA,SEM分辨率1.1nm@20kv,FIB分辨率2.5nm@30kv 3、具有Pt气体沉积系统

安放地址: 重庆大学A区综合实验大楼

服务内容: 本仪器主要进行扫描功能( EBSD, SEM, BSD) FIB(微纳加工)

服务的典型成果: 每年服务科研项目30余项,包括国家自然科学基金项目、973项目等重大重点项目,发表论文60余篇。

对外开放共享规定: 需要测试的用户在满足测试要求的都可在工作日内预约实验

参考收费标准: 扫描功能—院外 400元/小时 FIB功能—院外 1000元/小时;扫描功能—校外800元/小时 FIB功能—校外2000元/小时



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