设备分类编码: 120401

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [动力与电气工程]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 023-65102519

电子邮箱: zhengry@cqu.edu.cn

通讯地址: 重庆市沙坪坝区沙正街174号

邮政编码: 400044

联系人: 尚正国

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>加工工艺实验设备>>机加工工艺实验设备

规格型号: MS100X6-LMS100X6-L

所属科研设施:

主要功能: 淀积金属薄膜电极、非金属层及压电薄膜材料

主要技术指标: 极限真空 ：< 1 x 10-6 mbar漏率：< 3 x 10-7 mbar/s； 均匀性：95 mm 4”基片的Al淀积为±3%

安放地址: 微系统研究中心101室

服务内容: 提供4-6英寸圆片薄膜淀积：Al、Cr/Au、TiW/Au、Ti/Pt、Mo、AlN、ScAlN.

服务的典型成果: 中国核物理研究院开关掩膜层制备、ICT线模卡掩膜层制备、清华大学功能薄膜材料制备等

对外开放共享规定: 4-6英寸基片，可生长Al、TiW/Au、Ti/Pt、Mo、AlN、ScAlN 等薄膜。基片不能含有有机物等杂质。

参考收费标准: Al：300元/片（<300nm）、TiW/Au:1600元/片（<160nm）、Ti/Pt:1600元/片（<160nm）、Mo：300元/片（<300nm）、AlN:3000元/片（<1000nm）、ScAlN:4000元/片（<1000nm）