设备分类编码: 120401

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [动力与电气工程]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 023-65102519

电子邮箱: zhengry@cqu.edu.cn

通讯地址: 重庆市沙坪坝区沙正街174号

邮政编码: 400044

联系人: 尚正国

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>加工工艺实验设备>>机加工工艺实验设备

规格型号: S/NO.MP05974英寸

所属科研设施:

主要功能: 硅的深槽刻蚀

主要技术指标: 极限真空2×10-6Torr，工艺A刻蚀均匀性±2.62％，角度89.68°-89.91°；工艺B刻蚀均匀性±1.78％，角度89.78°90.1°

安放地址: 微系统研究中心101室

服务内容: 提供硅的深槽刻蚀，深宽比可达：25:1

服务的典型成果: 中国核物理研究院开关释放、ICT线模卡加工、电子科大微型气相色谱仪释放等

对外开放共享规定: 4英寸基片，只刻蚀硅材料，不含有机物等杂质

参考收费标准: <20um,500元/片，20-100um,100元/10um,原则上不接受超过100um深度的刻蚀