设备分类编码: 120302

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0451-86390840

电子邮箱: shiyunbo@126.com

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 赵文杰

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>半导体集成电路工艺实验设备

规格型号: SB-401B

所属科研设施:

主要功能: 主要用于功率电子器件、传感器、光电子器件、微波电路、MEMS（微电子机械系统）以及其它新型电子元器件的单、双面对准及曝光工艺

主要技术指标: 1、曝光分辨率：3μm；2、最大曝光范围：φ110mm；3、双面对准精度：±0.004mm 。

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: