设备分类编码: 010102

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [化学, 材料科学, 化学工程]

仪器设备来源: 购置

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联系人: 吴广峰

仪器所属类别: 分析仪器>>电子光学仪器>>扫描电镜

规格型号: JSM-6510

所属科研设施:

主要功能: 扫描电子显微镜的制造是依据电子与物质的相互作用。当一束高能的入射电子轰击物质表面时，被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征x射线和连续谱X射线、背散射电进行高倍照相

主要技术指标: 1主机 1.1分辨率： 二次电子像：3.0nm（30kV）; 8nm (3kV); 15nm (1kV) 背散射电子像：4.0nm（30kV） 1.2放大倍数： x5～x300000倍 1.3真空度： 高真空≤0.1mPa 泵系统： 涡轮分子泵+机械泵 探测束流： 1pA～1μA 1.4电子光学系统 加速电压：0.5～30kV，连续可调 灯丝： 预对中钨灯丝，灯丝具有自动加热、自动准值功能 聚光镜可变焦距聚焦镜 物镜：超级圆锥形物镜 图像电平移： ±50μm （WD=10mm） 自动功能：自动聚焦、自动亮度、自动对比度、自动像散校正 1.5样品室和样品台 标准样品台尺寸： 可装直径150mm的样品 样品台： 优中心样品台，具有三轴马达驱动功能 行程：X=80mm，Y=40mm，Z=48mm 倾斜：-10o～+90o 旋转：360°

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: