设备分类编码: 120304

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [动力与电气工程]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 023-65102519

电子邮箱: lidongling@cqu.edu.cn

通讯地址: 重庆市沙坪坝区沙正街174号

邮政编码: 400044

联系人: 李东玲

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>电子产品通用工艺实验设备

规格型号: MA6/BA64英寸

所属科研设施:

主要功能: 半导体加工工艺的图形转移及键合对准

主要技术指标: 分辨率1μm，正面对准精度0.5μm，背面对准精度1μm

安放地址: 沙正街174号重庆大学微系统研究中心101室

服务内容: 图形转移

服务的典型成果: 1. 在国防“973”项目中，完成了微型振动能量收集器的加工，并结合超级电容器的特点，开发了高深宽比SU8微结构，为项目的顺利结题提供了重要保障；2.结合**重大仪器专项项目的需求，制作了亚微米尺寸的MEMS光栅，并发表相应的科研论文；3.为中电集团24所等单位提供加工服务

对外开放共享规定: 1.校内外用户均可在工作日申请使用；2. 申请时需先讨论工艺方案，并填写加工申请单，双方无异议后根据实验室工作进度安排加工；3. 加工完成后，加工方结算产生的加工费

参考收费标准: 800元/小时或200元/片