设备分类编码: 120303

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 029-82668817

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联系人: 周婷

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>电真空器件工艺实验设备

规格型号: 50BR *

所属科研设施:

主要功能: 电子束蒸发台主要用于微纳米电子元器件加工工艺中金属薄膜的沉积，是半导体器件制备的必备设备，沉积的金属薄膜用于欧姆接触，肖特基接触的电极连接等

主要技术指标: 20分钟真空度＜3*10-6torr，最终真空度＜3*10-7torr，腔体可进行电子束蒸发和热蒸发，一次可沉积的金属≥4，蒸发速率和厚度控制2英寸厚度不均匀性＜5％，腔体可水冷

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: