设备分类编码: 120303

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 029-82668817

电子邮箱:

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 季欣

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>电真空器件工艺实验设备

规格型号: AL70500 *

所属科研设施:

主要功能: 镀膜、薄膜沉积

主要技术指标: 极限真空度1*10-7、抽速4001/S、镀膜速率分辨率0.001/nm/S

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: