设备分类编码: 120401

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [物理学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 029-82668817

电子邮箱:

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 张烨

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>加工工艺实验设备>>机加工工艺实验设备

规格型号: ICP-5000 *

所属科研设施:

主要功能: 主要用于刻蚀GAN\SAPPHIRE材料

主要技术指标: 刻蚀速率01-0.2um/min，刻蚀均匀性≤±5%

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: