设备分类编码: 120303

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [电子与通信技术, 教育学, P00]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 029-88202505

电子邮箱:

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 张春福

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>电真空器件工艺实验设备

规格型号: *

所属科研设施:

主要功能: 在真空环境下完成衬底处理有机和金属材料镀膜

主要技术指标: 本底极限真空度在8*10~（-5）pa，工作真空度低于5*10~（-4）pa

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: