设备分类编码: 120204

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [机械工程, 航空、航天科学技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 029-88460353-8051

电子邮箱: zbma@nwpu.edu.cn

通讯地址: 西安市碑林区友谊西路127号

邮政编码: 710072

联系人: 马志波

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>化工、制药工艺实验设备>>化学反应工艺实验设备

规格型号: 4374卧式

所属科研设施:

主要功能: 用于4”硅片Poly-Si、SiO2、PSG、BPSG等薄膜生长工艺。

主要技术指标: 适用硅片：4吋工艺管数：3 控制方式：微机控制 恒温区长度：标准300mm温区 沉积膜种类：Si3N4, Poly-Si, SiO2 沉积膜厚度：1000~6000埃 沉积膜均匀性：片内 片间 批间 Si3N4 ±5﹪±5﹪ ±5﹪ Poly-Si ±5﹪±5﹪

安放地址: 友谊西路127号

服务内容: 无

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 共享

参考收费标准: 无