点击图片查看原图
低压化学气相沉积炉  (收藏)

价格: 暂无价格

暂无服务

立即购买   加入购物车   加入预约

推荐
记录

设备分类编码: 120204

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [机械工程, 航空、航天科学技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 029-88460353-8051

电子邮箱: zbma@nwpu.edu.cn

通讯地址: 西安市碑林区友谊西路127号

邮政编码: 710072

联系人: 马志波

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>化工、制药工艺实验设备>>化学反应工艺实验设备

规格型号: 4374卧式

所属科研设施:

主要功能: 用于4”硅片Poly-Si、SiO2、PSG、BPSG等薄膜生长工艺。

主要技术指标: 适用硅片:4吋工艺管数:3 控制方式:微机控制 恒温区长度:标准300mm温区 沉积膜种类:Si3N4, Poly-Si, SiO2 沉积膜厚度:1000~6000埃 沉积膜均匀性:片内 片间 批间 Si3N4 ±5﹪±5﹪ ±5﹪ Poly-Si ±5﹪±5﹪

安放地址: 友谊西路127号

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定: 共享

参考收费标准:



扫描二维码
关注“智创中国”
全球设备一手掌握。

服务支持 400-0660-652 周一至周日9:00-21:00 售后服务/投诉处理