设备分类编码: 120304

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [机械工程, 航空、航天科学技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 029-88460353-8051

电子邮箱: zbma@nwpu.edu.cn

通讯地址: 西安市碑林区友谊西路127号

邮政编码: 710072

联系人: 马志波

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>电子产品通用工艺实验设备

规格型号: 5

所属科研设施:

主要功能: 半导体器件的成品率一般为50％左右，其中尘埃的粘污决定成品率，所以工艺现场必须要维持洁净。建设洁净间是MEMS工艺成功的前提条件。

主要技术指标: 1．净化要求 超净厂房面积：200平方米，其中：10000级：150平米，100级：50平米 2．通风 根据有关专业的要求，对需要全室通风的配电间、空调机房、纯水站等动力站部分均设置了全室通风系统，换气次数为8～12次/h。 3．净化、空调系统设二个净化空调系统，光刻间为一个系统，其余的净化间为一个系统，系统风量分别为50000m3/h和25000m3/h，净化空调系统为CR-1和CR-2。组合式空调机组有下列功能段组成：二次回风、新风混合段，风机段，中效过滤段。空调总耗冷量为220KW，空调总耗热量为60KW。 4．净化措施 除了净化空调系统采用初效，中效，高效三级过滤以保证送风空气洁净外，各净化间均设计为正压，以防止非洁净区的空气流入洁净区。100级和1000级的洁净区正压为20Pa, 1万级生产车间正压为15Pa,更衣室正压为10Pa。 5．消声 6．保温 7．防火 8．职业卫生安全 9．节能净化空调系统均设置自动控制系统，使整个净化空调系统处于最佳节能状态下运行。 10．动力系统

安放地址: 友谊西路127号

服务内容: 无

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 共享

参考收费标准: 无