设备分类编码: 120302

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [物理学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 029-88887617

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通讯地址:

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联系人: 谢永军

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>半导体集成电路工艺实验设备

规格型号: NIE-4000

所属科研设施:

主要功能: 用于微结构、光电子器件和材料研究。可在Si、GaAs等材料上刻蚀新型器件。

主要技术指标: 离子束流密度 3.09mA/cm2

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: