设备分类编码: 120204

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [机械工程]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 029-82668817

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联系人: 朱瑄

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>化工、制药工艺实验设备>>化学反应工艺实验设备

规格型号: ORION Ⅲ 含工艺室、真空泵、压力控制器、气体质量流量计、等离子电源、循环水温度控制器等

所属科研设施:

主要功能: MEMS，微纳米加工，薄膜制备等领域。

主要技术指标: 1、化学镀膜，不均匀性≤3%。2、4‘片*12，批。3、真空，375℃工作温度。

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: