设备分类编码: 120499

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 029-82668817

电子邮箱:

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 张烨

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>加工工艺实验设备>>其他

规格型号: UVCS-15X *

所属科研设施:

主要功能: LED晶圆切割，利用紫外光烧蚀或激光隐形切割加工方式，将整片晶圆进行分割

主要技术指标: 平面度：±3UM,直线度：±1UM,编码器分辨率：0.25UM,切割缝宽：6-8UM

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: