设备分类编码: 120304

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 029-82668817

电子邮箱:

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 史鹏

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>电子产品通用工艺实验设备

规格型号: icp500 *

所属科研设施:

主要功能: 薄膜刻蚀以及微加工图形化处理

主要技术指标: 极限真空、刻蚀材料、电极尺寸

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: