设备分类编码: 030134

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [工程与技术科学基础学科, 机械工程, 航空、航天科学技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0551-62901781

电子邮箱: whtwsy@163.com

通讯地址: 合肥工业大学仪器科学与光电工程学院

邮政编码: 230009

联系人: 王宏涛

仪器所属类别: 计量仪器>>长度计量仪器>>纳米精度光栅检定装置

规格型号: TalysurfC

所属科研设施:

主要功能: 仪器主要应用领域和提供服务范围：半导体晶片 ，液晶产品（CS,LGP,BIU），微机电系统，光纤产品，数据存储盘（HDD,DVD,CD），材料研究，精密加工表面，生物医学工程

主要技术指标: 精度: 优于λ/100峰谷值;仪器精度: λ/1000均方根值;峰谷值重复性: λ/300;均方根值重复性: λ/2000;空间取样分辨率: 640x480像素(6倍放大时,17mm通光孔径);分辨率: λ/12000;数据采集时间: 高分辨率200ms(10幅图像)数据模式: 8位；平均模式: 光强平均及相位平均；光强平均采集速率: 高分辨率每次测量1.333秒；测量技术:干涉相位调制+相位分析算法

安放地址: 合肥工业大学科技楼北裙楼143室

服务内容: 半导体晶片 ，液晶产品（CS,LGP,BIU），微机电系统，光纤产品，数据存储盘（HDD,DVD,CD），材料研究，精密加工表面，生物医学工程

服务的典型成果: 校内外

对外开放共享规定: 按学校相关规定和设备管理制度

参考收费标准: 400元/小时