设备分类编码: 120301

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 029-82668817

电子邮箱:

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 周婷

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>电路板制造工艺实验设备

规格型号: MJB *

所属科研设施:

主要功能: 用于微纳米电子元器件加工工艺中高精度的光刻与套刻，是半导体器件制备的必备设备

主要技术指标: 最小线宽≤1微米、套刻精度≤0.5um、光强均匀度优于±3％、晶圆尺寸4英寸

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: