设备分类编码: 120399
仪器设备分类: 专用
主要学科领域: [材料科学, 机械工程, 电子与通信技术, 航空、航天科学技术]
仪器设备来源: 购置
联系电话: 029-88460384
电子邮箱: zbma@nwpu.edu.cn
通讯地址: 西安市碑林区友谊西路127号
邮政编码: 710072
联系人: 马志波
仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>其他
规格型号: --
所属科研设施:
主要功能: MEMS测试设备以及镀膜设备安装空间
主要技术指标: 1.净化要求 2.通风 根据有关专业的要求,对需要全室通风的配电间、空调机房、纯水站等动力站部分均设置了全室通风系统,换气次数为8~12次/h。 3.净化、空调系统设二个净化空调系统,光刻间为一个系统,其余的净化间为一个系统,系统风量分别为50000m3/h和25000m3/h,净化空调系统为CR-1和CR-2。组合式空调机组有下列功能段组成:二次回风、新风混合段,风机段,中效过滤段。空调总耗冷量为220KW,空调总耗热量为60KW。 4.净化措施 除了净化空调系统采用初效,中效,高效三级过滤以保证送风空气洁净外,各净化间均设计为正压,以防止非洁净区的空气流入洁净区。100级和1000级的洁净区正压为20Pa, 1万级生产车间正压为15Pa,更衣室正压为10Pa。 5.消声 6.保温 7.防火 8.职业卫生安全 9.节能净化空调系统均设置自动控制系统,使整个净化空调系统处于最佳节能状态下运行。
安放地址: 友谊西路127号
服务内容: 无
服务的典型成果: 无
对外开放共享规定: 共享
参考收费标准: 无