设备分类编码: 120302

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [材料科学, 机械工程, 电子与通信技术, 航空、航天科学技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 029-88460384

电子邮箱: zbma@nwpu.edu.cn

通讯地址: 西安市碑林区友谊西路127号

邮政编码: 710072

联系人: 马志波

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>半导体集成电路工艺实验设备

规格型号: MSP-3470X

所属科研设施:

主要功能: 适用于4英寸硅片，可溅射铝，钛，铜，铂和金膜；

主要技术指标: 极限真空：7×10-5Pa ； 恢复真空：3×10-3Pa≤30min 系统漏率：停泵关机12小时后真空度≤5Pa。 真空系统：分子泵+直联泵或机械泵 基片加热：加热范围从室度～400℃连续可调可控，控温精度±1%， 靶的结构尺寸及成膜方式：靶在下，基片在上，向上溅射成膜。靶材直径Ф120mm。靶中心与基片中心距离连续可调，并有调位距离指示，样品转盘可行星轮式回转，转速5～50转/分连续可调。 成膜均匀性：优于±5% 钟罩尺寸：Ф500×300 电源：射频源一台：1000W

安放地址: 友谊西路127号

服务内容: 无

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 共享

参考收费标准: 无