设备分类编码: 120302

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [机械工程, 电子与通信技术, 航空、航天科学技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 029-88460384

电子邮箱: zbma@nwpu.edu.cn

通讯地址: 西安市碑林区友谊西路127号

邮政编码: 710072

联系人: 马志波

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>半导体集成电路工艺实验设备

规格型号: elan-cb6l

所属科研设施:

主要功能: 主要爱用于MEMS加工中的键合工艺，如：阳极键合、硅硅键合、热压焊料键合、玻璃釉料键合、共晶键合、SOI键合、聚合物键合以及粘合剂键合等。

主要技术指标: 键合材料种类：支持硅片、玻璃、聚合物等多种材料的键合 键合形式：支持硅硅、阳极、共晶、热压焊料、玻璃釉料、SOI、聚合物以及粘合剂等多种形式的键合 键合晶片层数：支持两层和两层以上晶片的键合 晶片尺寸：支持100mm直径晶片的键合 对准精度：优于1μm 线性移动：键合头部可以高精度的线性移动 键合腔要求：真空度小于5E-5mbar，可充多种气体，抽速小于1min（从0.1MPa到1mbar） 键合腔压力范围：5E-4mbar-10mbar 压力精度：+/-2% 键合温度：独立的上下加热 最高键合温度：500°C 键合温度均匀性：+/-3% 温度重复性：+/-3°C 温度稳定性：+/-2°C 最大键合力：8kN 最大键合电压：2000V 最大键合电流15mA

安放地址: 友谊西路127号

服务内容: 无

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 共享

参考收费标准: 无