设备分类编码: 120303

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [信息科学与系统科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 029-88887464

电子邮箱: xuxy@opt.ac.cn

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 徐向晏

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>电真空器件工艺实验设备

规格型号: MA6

所属科研设施:

主要功能: 半导体器件光刻；条纹相机分划阴极、导电层底光刻

主要技术指标: 曝光面积150mm；光刻精度0.8微米

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: