设备分类编码: 100399

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [物理学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0592-2189013

电子邮箱: dlpeng@xmu.edu.cn

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 罗晴

仪器所属类别: 核仪器>>离子束分析仪器>>其他

规格型号: 定制

所属科研设施:

主要功能: 制备金属纳米粒子及金属纳米粒子复合薄膜材料

主要技术指标: 设备包括三个真空室，其中溅射室内有一对三英寸的对靶，沉积室内有一四工位离子束溅射源和一常规磁控溅射靶； 溅射室和沉积室的极限真空度：≤5x10-5 Pa (经烘烤除气后)； 系统真空检漏漏率：≤6.6x10-8 Pa.l/S； 系统从大气开始抽气：溅射室40分钟可达到5x10-4 Pa；

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: