设备分类编码: 120499

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [信息科学与系统科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 023-65935278

电子邮箱: wangyunjiao@cigit.ac.cn

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 王赟姣

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>加工工艺实验设备>>其他

规格型号: DWL66FS

所属科研设施:

主要功能: 高效率、低成本地制作高精度掩模版，为微光学元件光刻制作提供母版。能实现面形为复杂曲面，特征尺寸在微米量级，同时微光学元件通常采用列阵形式，整体面积较大的微光学元件掩模制作。

主要技术指标: 最大加工尺寸为8英寸，最小特征尺寸为600 nm。

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: