设备分类编码: 129900

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [材料科学, 电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 023-65935284

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联系人: 张畅达

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>其他>>其他

规格型号: DP650

所属科研设施:

主要功能: 可以用于各种单层膜、多层膜和掺杂膜系。可镀各种硬质膜、金属膜、合金、化合物、半导体、陶瓷膜、介质复合膜和其他化学反应膜。 主要用于实验设备有机光电器件和金属电极介电层，以及制备生长纳米材料的催化剂薄膜层。

主要技术指标: 兼容磁控溅射射频（RF）、直流(DC)这两种溅射模式

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: