设备分类编码: 120399

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0551-65592555

电子邮箱: linni@iim.ac.cn

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 倪林

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>其他

规格型号: ICP180

所属科研设施:

主要功能: 用于具有高深宽比的硅微结构加工

主要技术指标: 刻蚀速率>2um/min 选择比:光刻胶掩膜>50:1

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: