设备分类编码: 120302

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [信息科学与系统科学, 工程与技术科学基础学科, 材料科学, 电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 2365935469

电子邮箱:

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 李金伟

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>半导体集成电路工艺实验设备

规格型号: AR-NIM-100+AR-IMC-100

所属科研设施:

主要功能: 可实现4英寸以下任意尺寸的纳米热压印工艺，实现模板复制，高分子材料软膜压印、PDMS压印 及图形复制等工艺。

主要技术指标: Wafer尺寸：4英寸；压印尺寸：2英寸；压印压力：0-25PSI。

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: