设备分类编码: 129900

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [材料科学]

仪器设备来源: 购置

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联系人: 赵高扬

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>其他>>其他

规格型号: LMBE450A

所属科研设施:

主要功能: 用于多种有机、无机薄膜的制备，尤其适宜于用其它制膜设备和方法难以制备的高熔点、多元素（特别是含有气体元素时）、复杂层状结构的薄膜和超晶格的制备。

主要技术指标: 外延室背底真空度：2～10-8 Pa以上 靶材自传频率：0.5 ~ 5Hz 靶与基片间距调节范围：35－95mm 基片台最高工作温度：850 °C 温度起伏：≤ ±0.1 °C 测温范围：300～1200°C 二维激光扫描调节范围： 扫描角度：X,Y - 0° ~ 20° 扫描周期：X - 10 ~ 60s,Y - 30 ~ 120s 光束取向：0° ～ 360°

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: